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EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

它是一個基于模塊化和改進(jìn)的SmartNIL模塊的獨立系統(tǒng),可以根據(jù)處理和自動化水平進(jìn)行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸,具有低至300納米的高精度對準(zhǔn),先進(jìn)的過程控制和高吞吐量,可以滿足各種自由形狀和高精度納米和微光學(xué)元件和器件的先進(jìn)研發(fā)和大批量制造(HVM)需求。為了在HVM環(huán)境中集成預(yù)處理和后處理流的必要性,該模塊可以集成到HERCULES NIL系統(tǒng)中


這種多功能系統(tǒng)旨在服務(wù)于廣泛的新興應(yīng)用,包括微和納米壓印以及功能層的紫外線堆疊。因此,該設(shè)備可以增強(qiáng)晶圓級光學(xué)(WLO),納米光子學(xué),超表面和生物醫(yī)學(xué)芯片的工藝性能。這與行業(yè)對新型光學(xué)傳感器和光電子器件的需求密切相關(guān),例如自動駕駛,汽車和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀,生物識別認(rèn)證的衍射光學(xué)器件以及復(fù)雜元透鏡的新興趨勢。利用這項技術(shù)的第一個應(yīng)用已經(jīng)存在于先進(jìn)的生物醫(yī)學(xué)設(shè)備和增強(qiáng)現(xiàn)實波導(dǎo)領(lǐng)域,其中納米印跡技術(shù)可以實現(xiàn)復(fù)雜設(shè)計的高質(zhì)量制造。


特點

· 靈活性:UV- nil系統(tǒng)在一個工具中實現(xiàn)三個UV過程:SmartNIL, WLO和堆疊

     · 精確控制多步工藝,包括對準(zhǔn),接觸和紫外線固化

     · 用于SmartNIL和WLO的低力自動沖壓分離

· 可擴(kuò)展性:加工高達(dá)300mm基板的晶圓

· 模塊化:獨立模塊,以及集成到HERCULES NIL

     · 基材搬運:從手動裝載到全自動操作

     · 可選的自動郵票加載SmartNIL允許連續(xù)模式操作

· 高級對齊功能

     · 實時校準(zhǔn)<±300nm(取決于工藝)

· UV LED燈最高功率500mW/cm2

     · > 90%均勻度

     · 可選:雙波長工作:365nm和405nm

     · 不同的曝光模式

· 可選特性

     · 光楔誤差補(bǔ)償(WEC)

     · 溫度控制

· 行業(yè)先進(jìn)的工藝性能

     · 分辨率低至單納米范圍

     · 非常精確的殘余層控制


技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(襯底尺寸):最大300毫米

分辨率:≤10納米(視工藝及材料而定,主料由客戶提供)


支持的進(jìn)程:Lens Stacking、Lens Molding、SmartNIL?


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