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Herz TS-150高精度主動(dòng)減振平臺

Herz TS-150高精度主動(dòng)減振平臺

       在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振  從0.7 Hz 100 Hz

       在21世紀納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。

       在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動(dòng)隔振臺無(wú)法隔離低頻振動(dòng),此時(shí)需要主動(dòng)隔離。

       先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統“TS 系列” 將作為21世紀納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng )新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設備:

       掃描電子顯微鏡,如 AFM 3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統,顯微硬度測量?jì)x,醫療檢測設備等。

特點(diǎn):

       在全部的6個(gè)自由度范圍內,從0.7Hz100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。

       當儀器裝載時(shí),高度調整會(huì )自動(dòng)進(jìn)行。

       即使當負載偏離中心時(shí),自動(dòng)調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時(shí),給予穩定性。

       通過(guò)按下前方的按鈕,系統可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

       前方的顯示屏展示了在X,YZ方向的實(shí)際振動(dòng)水平。

       主動(dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用。(單獨出售) 有關(guān)詳情,請與我們聯(lián)系。

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TS應用案例


       Herz系列產(chǎn)品創(chuàng )建穩定的測量環(huán)境

支持改善TS的隔振性能

       主動(dòng)式隔振系統控制水平和垂直方向20μm的振動(dòng)振幅。如果工作臺或桌面不夠堅硬,TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會(huì )降低,或者振動(dòng)會(huì )放大。我們提供具有內置阻尼功能的剛性框架,以實(shí)現TS系列產(chǎn)品的理想性能。

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帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

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此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據要求提供。

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