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光刻機、鍵合機-選型圖（EVG）
光刻鍵合設(shè)備選型圖，整理自官網(wǎng)架構(gòu)。2019年數(shù)據(jù)。
納米壓印-手冊（英文原版）
納米壓印-手冊（英文原版），來源于EVG官網(wǎng)
EVG鍵合機-手冊（英文原版）
EVG?501 / EVG?510 / EVG?520 IS 是用于研發(fā)的鍵合機。
EVG光刻機-手冊（中文版）
EVG600系列光刻機中文說明，翻譯自EVG官/方資料。
EVG鍵合機-手冊（中文版）
EVG500系列產(chǎn)品資料中文版，翻譯自EVG官/方資料。
EVG光刻機-手冊（英文原版）
EVG610 / EVG?620 NT / EVG?6200 NT / IQ Aligner / IQ Aligner? NT...
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唐女士-華南、西南