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QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀

QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀

QuickOCT-4D? 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動(dòng)控制平臺相結合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D? 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。



系統特點(diǎn)

· 緊湊的臺式裝置,帶環(huán)境外殼

· 單點(diǎn)、非接觸式、可見(jiàn)光、光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器,測量速率高達 66 kHz

· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進(jìn)行了優(yōu)化

· 納米編碼的 X/Y/Z 運動(dòng),帶有磁性直線(xiàn)電機和交叉滾子軸承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光柵或螺旋掃描

· 可用于樣品和托盤(pán)固定的真空吸盤(pán)

· 用戶(hù)友好的 CalcuSurf-4D? 配方生成、數據采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度,從而在最高通量下實(shí)現最佳覆蓋


SD-OCT技術(shù)概述

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