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岱美中國拿到SiC客戶(hù)第2/第3臺膜厚測量?jì)xThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic的訂單(2023,07)

發(fā)布時(shí)間:2023-09-05

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該客戶(hù)是中國碳化硅(SiC)功率器件產(chǎn)業(yè)化的倡導者之一,于2021年安裝了第一臺ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic,因機臺使用狀況良好,客戶(hù)今年追加購買(mǎi)了第2臺和第3臺設備(包括可見(jiàn)光和紫外光范圍)。
FR-Scanner-AIO-Mic膜厚測量?jì)x采用的是波長(cháng)范圍在370-1020nm的可見(jiàn)光干涉測量,能夠測量12nm-90um范圍的膜層厚度(5X鏡頭),準確度高達0.2%或2nm,精度為0.02nm,是一款性?xún)r(jià)比很高的膜厚測量設備。FR-Scanner的紫外光配置,波長(cháng)范圍低至200nm, 能應用于4nm-60um范圍的膜層厚度(5X鏡頭),準確度高達0.1%或1nm。市場(chǎng)上大多數膜厚測量?jì)x在增加了顯微鏡配置后,設備的膜厚測量范圍出現大幅度縮減,但ThetaMetrisis產(chǎn)品不會(huì )出現這種情況,其膜厚測量范圍仍然寬廣。值得一提的是,實(shí)現多點(diǎn)Mapping測量功能是FR-Scanner系列的標配。



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