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岱美中國獲得膜厚測量?jì)xThetaMetrisis FR-ES訂單

發(fā)布時(shí)間:2024-01-08

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該客戶(hù)為中國東北部的一家中科院?jiǎn)挝?,主要研究領(lǐng)域:聚焦先進(jìn)材料。先進(jìn)材料領(lǐng)域布局先進(jìn)材料設計、先進(jìn)結構材料、先進(jìn)復合材料、先進(jìn)功能材料與器件、先進(jìn)能源材料與器件、電分析儀器等6個(gè)主要研究方向;該單位擁有多個(gè)國重實(shí)驗室;是學(xué)位委員會(huì )首批授權培養碩士、博士和建立博士后流動(dòng)站的單位之一,是中國科學(xué)院首批博士生重點(diǎn)培養基地。


FR-ES膜厚測量?jì)x采用的是波長(cháng)范圍在370-1020nm的可見(jiàn)光干涉測量,能夠測量12nm-100um范圍的膜層厚度,準確度高達0.1%或1nm,精度為0.05nm,是一款性?xún)r(jià)比很高的膜厚測量設備。


配件包括:

濾光片 -- 可適用光刻膠

FR-Mic -- 用于微米級別區域測量

/自動(dòng)載物臺 -- 100x100mm200x200mm

薄膜/杯架 -- 用于吸收率/透射率和化學(xué)濃度測量

積分球 -- 用于漫反射和全反射

API -- 二次軟件開(kāi)發(fā)

接觸式探頭 -- ST是用于彎曲樣品反射率膜厚測量的獨特附件


通過(guò)不同模塊的組合,蕞終設置可滿(mǎn)足用戶(hù)的任何需求。




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