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岱美儀器拿到PSS客戶(hù)第2臺膜厚測量?jì)xThetaMetrisis FR-Scanner的訂單

發(fā)布時(shí)間:2024-01-08

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此客戶(hù)是一家面向第三代半導體藍寶石上氮化鎵(GaN on Sapphire)技術(shù)的專(zhuān)業(yè)襯底材料供應商。公司根據不同的芯片應用領(lǐng)域及其外延技術(shù)特征進(jìn)行適配的襯底材料開(kāi)發(fā),通過(guò)圖形化結構設計、不同材料組合應用、工藝制程實(shí)現等,為氮化鎵器件提供襯底材料綜合解決方案。


目前,公司主要產(chǎn)品包括2至6英寸圖形化藍寶石襯底(PSS)、圖形化復合材料襯底(MMS),主要應用于照明、顯示、背光源、Mini/Micro LED、深紫外LED等領(lǐng)域。公司建立了廣東省半導體襯底工程技術(shù)研究開(kāi)發(fā)中心,圍繞下一代GaN先進(jìn)光電子器件技術(shù)進(jìn)行襯底與外延一體化研發(fā),開(kāi)展GaN功率器件用藍寶石襯底等技術(shù)研究。



FR-Scanner膜厚測量?jì)x是波長(cháng)范圍在370-1020nm的可見(jiàn)光干涉測量,能夠測量12nm-100um范圍的膜層厚度,準確度高達0.1%或1nm,精度為0.02nm,是一款平臺位移精度高,實(shí)現多點(diǎn)Mapping測量功能的膜厚測量設備,基于8“樣品測量速度可達300點(diǎn)每分鐘。

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