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FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量膜厚儀

FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量膜厚儀

膜厚儀 FR-Mic 是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺計算機控制的 XY 工作臺,使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性 。也可以搭配自動(dòng)平臺測量 400x400mm 大小樣品。 

 

Thetametrisis膜厚儀


       Thetametrisis利用 FR-Mic,通過(guò)紫外/ 可見(jiàn)/ 近紅外可輕易對局部區域薄膜厚度,厚度映射,光學(xué)常數,反射率,折射率及消光系數進(jìn)行測量。

【相關(guān)應用】


  • 高校 & 研究所實(shí)驗室

  • 半導體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)

  • MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)

  • LEDs, VCSELs 多層膜測量應用

  • 數據存儲

  • 陽(yáng)極處理氧化膜

  • 曲面基底的硬化涂層

  • 聚合物膜層, 粘合劑.

  • 生物醫學(xué)(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)

  • OEM或客制化應用

【特點(diǎn)】

  • 實(shí)時(shí)光譜測量

  • 薄膜厚度,光學(xué)特性,非均勻性測量, 厚度映射 

  • 使用集成 USB 高 品質(zhì)彩色攝像機進(jìn)行成像 (所視即所測)

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【技術(shù)參數】

型號

UV/VIS

UV/NIR-EXT

UV/NIR-HR

DUV/NIR

VIS/NIR

DVIS/NIR

NIR

NIR-N2

光譜波長(cháng)范圍(nm)

200850

2001020

200-1100

2001700

3701020

3701700

9001700

900-1050

光譜儀像素

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

3648

膜厚測量范圍

5X- VIS/NIR

4nm-60um

4nm-70um

4nm-90um

4nm-150um

15nm-90um

15nm-150um

100nm-150um

4um-1mm(SiO2)

10X- UV/VIS/NIR

4nm-50um

4nm-60um

4nm-80um

4nm-130um

15nm-80um

15nm-130um

100nm-130um

4um-400um(Si)

15X- UV/NIR

4nm-40um

4nm-50um

4nm-50um

4nm-120um

-

-

 

 

20X- UV/VIS/NIR

4nm-25um

4nm-30um

4nm-30um

4nm-50um

15nm-30um

15nm-50um

100nm-50um

 

40X- UV/NIR

4nm-4um

4nm-4um

4nm-5um

4nm-6um

-

-

 

 

50X- VIS/NIR

-

-

-

-

15nm-5um

15nm-5um

100nm-5um

 

測量n&k蕞小厚度

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

 

準度 3.

0.1% or 1nm

0.2% or 2nm

50nm or 0.2%

精度 4..

0.02nm

0.02nm

5nm

重覆性 5.

0.05nm

0.05nm

5nm

光源

氘燈&鹵素燈(internal)

鹵素燈(internal)10000 小時(shí) (MTBF)

材料數據庫

>650內建材料數據庫




*測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。


物鏡

光斑尺寸(μm)

500μm孔徑

250μm孔徑

100μm孔徑

5x

100μm

50μm

20μm

10x

50μm

25μm

10μm

20x

25μm

17μm

5μm

50x

10μm

5μm

2μm



【工作原理】


Thetametrisis膜厚儀FR-Mic工作原理.jpg



規格如有更改,恕不另行通知

測量結果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較, 

連續 15 天測量的標準方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) , 

100 次厚度測量的標準方差,樣品:1um SiO2 on Si.

超過(guò) 15 天的標準偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。

使用反射式物鏡



  以上資料來(lái)自Thetametrisis,如果有需要更加詳細的信息,請聯(lián)系我們獲取。

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