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Filmetrics F3-sX半導體薄膜測量?jì)x

Filmetrics F3-sX半導體薄膜測量?jì)x

Filmetrics F3-sX半導體薄膜測量滿(mǎn)足薄膜厚度范圍從15nm到3mm的先進(jìn)厚度測試系統

F3-sX家族利用光譜反射原理,可以測試眾多半導體及電解層的厚度,可測大厚度達3毫米。此類(lèi)厚膜,相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻,F3-sX系列配置10微米的測試光斑直徑因而可以快速容易的測量其他膜厚測試儀器不能測量的材料膜層。而且僅在幾分之一秒內完成。

波長(cháng)選配

Filmetrics F3-sX半導體薄膜測量?jì)x采用的是近紅外光(NIR)來(lái)測量膜層厚度,因此可以測試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導體膜層) 。980nm波長(cháng)型號,F3-s980,專(zhuān)門(mén)針對低成本預算應用。F3-s1310針對于高參雜硅應用。F3-s1550則針對較厚膜層設計。

 

測量原理為何?

FILMeasure分析-薄膜分析的標準部件

可選配件

應用

1.Si晶圓厚度測試

2.保形涂層

3.IC 芯片失效分析

4.厚光刻膠(比如SU-8光刻膠)

選擇Filmetrics的優(yōu)勢

桌面式薄膜厚度測量?jì)x器

24小時(shí)電話(huà)在線(xiàn)支持

所有系統皆使用直觀(guān)的標準分析軟件

附加特性

1.嵌入式在線(xiàn)診斷方式

2.免費離線(xiàn)分析軟件

3.精細的歷史數據功能,幫助用戶(hù)有效地

4.存儲,重現與繪制測試結果


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