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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300FR-Scanner-AIO-Mic-XY300FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統集成了光學(xué)、電子和機械模塊,可兼用于對無(wú)圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進(jìn)行精確測量 。

將晶圓放置在真空吸盤(pán)上(晶圓尺寸直徑≤300mm)并配備反射率標準件。 由功能強大的光學(xué)模塊執行測量,光斑尺寸小至幾微米。電動(dòng)平臺提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重復性方面具有良好的性能

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 實(shí)時(shí)反射率光譜測量

o 薄膜厚度、光學(xué)特性、非均勻性測量、厚度測繪

o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機進(jìn)行成像

o 測量參數統計數據

o 半自動(dòng)圖案對準功能用于測量周期性圖形區域

不一樣的軟件功能,例如:Click2Move (螢幕點(diǎn)擊定位量測點(diǎn))、比例尺


附件:

  • FR-AutoFocus:100mm 長(cháng)線(xiàn)性軸,用于自動(dòng)對焦,具有兩種操作模式:圖像對焦(對比度)/ 反射強度

  • Rotation Module:旋轉模塊電動(dòng)平臺提供高的分辨率和精度

  • FR-FilterWheel:電動(dòng)濾光輪模塊帶有可容納 12 個(gè)濾光片的插槽由計算機自動(dòng)控制: 濾光片尺寸:直徑0.5英寸,蕞多6個(gè)過(guò)濾器(1英寸)

  • FR-AutoTurret:自動(dòng)轉塔由計算機控制可容納 4 個(gè)物鏡:鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒

  • Lenses:長(cháng)工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X

  • 反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X

  • Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.

  • Chucks:6 英吋光掩??ūP(pán)6 英吋帶參考片區域 ,多晶圓卡盤(pán)(100-300 毫米和不規則形狀片),包括參考區域和暗區,用于自動(dòng)基準


規格:


二維厚度圖:

3D厚度圖:

測量原理:

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