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FR-pRo:Thetametrisis膜厚測量?jì)x

FR-pRo:Thetametrisis膜厚測量?jì)x

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1. 產(chǎn)品概述

  1. FR-pRo膜厚按客戶(hù)的需求量身定制的薄膜特性測量工具。

  2. FR-pRo膜厚儀是一個(gè)模塊化和可擴展平臺的光學(xué)測量設備,用于測量厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。

  3. FR-pRo膜厚儀廣泛應用于各種不同的應用。 包括:吸收率/透射率/反射率測量,薄膜特性在溫度和環(huán)境控制下甚至在液體環(huán)境下的表征等等



2. 膜厚儀應用

  • 大學(xué)&研究實(shí)驗室

  • 半導體行業(yè)

  • 高分子聚合物&阻抗表征

  • 電介質(zhì)特性表征

  • 生物醫學(xué)

  • 硬涂層,陽(yáng)極氧化,金屬零件加工

  • 光學(xué)鍍膜

  • 非金屬薄膜等等


FR-pRo膜厚儀可由用戶(hù)按需選擇裝配模塊,和心部件包括光源,光譜儀(適用于 200nm-2500nm 內的任何光譜系統)和控制單元,電子通訊模塊。

此外,還有各種各種配件,比如:

  • 用于測量吸收率/透射率和化學(xué)濃度的薄膜/試管架;

  • 用于表征涂層特性的薄膜厚度工具;

  • 用于控制溫度或液體環(huán)境下測量的加熱裝置或液體試劑盒;

  • 漫反射和全反射積分球。

  • 通過(guò)不同模塊組合,蕞終的配置可以滿(mǎn)足任何終端用戶(hù)的需求。

3. 膜厚儀規格(Specificatins 




4. 膜厚儀配件(Accessries) 

電腦

19 英寸屏幕的筆記本電腦/觸摸屏電腦

聚焦模塊

光學(xué)聚焦模塊安裝在反射探頭上,光斑尺寸<100um

薄膜/比色容器

在標準器皿中對薄膜或液體的透射率測量

觸式探

于涂層厚度測量和光學(xué)測量的配件,適用于彎曲表面和曲面樣品

顯微鏡

高橫向分辨率的反射率及厚度顯微測量

自動(dòng)化平臺薄膜測繪

帶有圓晶卡盤(pán)的PolarR-Θ)或 CartesianX-Y)自動(dòng)化樣品臺可選,PolarR-Θ)樣品臺支持反射率測量,CartesianX-Y)樣品臺支持反射率和透射率測量

積分球組件

測量涂層和表面的鏡面反射和漫反射

手動(dòng) X-Y 樣品臺

測量面積為 100mmx100mm  200mmx200mm X-Y 手動(dòng)平臺

加熱模塊

嵌入FR-tool 中,圍由室溫~200oC,通過(guò)FR-Monitor 運行可編程溫控器(0.1 oC 精度).

模塊

聚四氟乙烯容器,用通過(guò)石英光學(xué)窗口測量在液體中的樣品。樣品夾具,

將樣品插入可處理 30mmx30mm 樣品的液體中

流通池

中吸光率、微量熒光測量



5. 膜厚儀工作原理

白光反射光譜(WLRS)是測量垂直于樣品表面的某一波段的入射光,在經(jīng)多層或單層薄膜反射后,經(jīng)界面干涉產(chǎn)生的反射光譜可確定單層或多層薄膜(透明,半透明或全反射襯底)的厚度及 N*K 光學(xué)常數。

* 規格如有更改,恕不另行通知

厚度測量范圍即代裱光譜范圍,是基于在高反射襯底折射率為 1.5 的單層膜測量厚度。

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